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ESMA - Elektronenstrahl-Mikroanalyse

Ansprechpartner: Dr. rer. nat. Silvia Richter
e-mail: richter@gfe.rwth-aachen.de
Telefon: +49-241-80-24348


Die Mikrosonde (ESMA) liefert quantitative chemische Analysen von Mikrobereichen in Festkörpern aller Art. Analysiert wird an Schliffen oder Oberflächen. Bei Nachweisgrenzen > 20ppm erfaßt die ESMA alle Elemente von B bis U und erreicht relative Genauigkeiten bei einer Quantifizierung der Zusammensetzungen von 1 - 5%.

Besondere Stärke ist die empfindliche Analyse leichter Elemente Be bis F.


Anwendungen

Massive Materialien:

Dünne Schichten:

 

Anwendungsbeispiele

Thixoforming 100 Cr 6 - Stahl - Chemische Gefügeanalyse in Kombination mit metallographischer Ätzung

Optimierung von Lichtquellen für die EUV-Mikroskopie -
Chemische Analyse von dünnen Schichten und Bestimmung von Schichtdickengradienten

Charakterisierung der γ-α Phasenumwandlung eines C45-Stahles -
Quantitative Kohlenstoffanalyse in einem Austenit-Ferrit-Gefüge

Chemische Gefügeanalyse zur Klärung des Korrosionsmechanismus an einem Flammenrohr
aus einer Nickelbasislegierung Ni-29Cr-4.5Fe-3.3Al (-Ti-Mn)