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AFM - Rasterkraftmikroskopie und Nanohärtemessung

Ansprechpartner: Dr.rer.nat A. Aretz
e-mail: aretz@gfe.rwth-aachen.de
Telefon: +49-241-80-24346


Funktionsweise eines Rasterkraftmikroskops


RKM Spitze


Das Rasterkraftmikroskop (Atomic Force Microscope, AFM) gehört zur Familie der Rastersondenmikroskope (Scanning Probe Microscopes, SPM).

Mit dem Rasterkraftmikroskop werden Oberflächen aus beliebigen Werkstoffen mit Hilfe einer scharfen Spitze, die rund 200 mm lang ist und deren Spitzenradius weniger als 10 nm beträgt, untersucht. Die Spitze befindet sich am freien Ende eines Federarms, der eine Länge von 100 bis 200 mm hat.

Ein Detektorsystem mißt die Auslenkung des Federarms, während die Spitze über die Oberfläche des Untersuchungsobjektes gerastert wird. Die gemessene Auslenkung des Federarms entspricht der Oberflächeninformation und wird in der parallel laufenden Bildverarbeitung quantitativ ausgewertet und als dreidimensionales Bild dargestellt. Bild- und Datenfiles können in unterschiedlichen Formaten exportiert und so für andere Software Programme verfügbar gemacht werden.