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Service
 
ERC
 

Rasterelektronenmikroskopie (Arbeitsbereichsleiter Dr. Alexander Schwedt):

Rasterelektronenmikroskop JEOL JSM7000F
(Baujahr 2006) mit Feldemissionskathode. Kombiniertes EDX/EBSD-System EDAX Pegasus,
laterale Auflösung 1,2 nm bei 30 kV, 3nm bei 1 kV.

Rasterelektronenmikroskop ZEISS DSM 962
(Baujahr 1994) mit W-Kathode,EDX-System Oxford Link ISIS mit HPGe-Detektor und UT-Window

Rasterelektronenmikroskop ZEISS DSM 982 Gemini
(Baujahr 1995) mit Feldemissions-kathode. EDX-System Oxford Link ISIS mit
HPGe-Detektor und ultradünnem Eintrittsfenster.


REM Jeol JSM7000FREM Jeol JSM7000F




Grosskammer-Rasterelektronenmikroskopie (Projektleiterin Dr. Anke Aretz):

Großkammer-Rasterelektronenmikroskop MIRA VP
(Baujahr 2005) mit 5+1 Achsensystem mit Mikroschnittsteuerung, EDX-System mit stickstofffreiem
Detektor und EBSD-System


GK REM Mira VPGK REM Mira VP (Informationsblatt)




Mikrobereichs- und Oberflächenanalyse (Arbeitsbereichsleiterin Dr. Silvia Richter)

Elektronenstrahl-Röntgenmikrosonde CAMEBAX SX 50 (Baujahr 1991)
- Vier wellen-längen-dispersiven Spektrometern
- Multilayer-Kristallen zum Nachweis weicher Röntgenstrahlung.


CAMEBAX SX 50CAMEBAX SX 50


Field Emission Elektronenstrahlmikrosonde JEOL JXA-8530F (Baujahr 2012)
- Fünf wellenlängendispersive Spektrometer
- Multilayer-Kristalle zum Nachweis weicher Röntgenstrahlung
- Spektrometer für hohe Intensitäten und schnelles Mapping
- Zwei EDX-Systeme mit SDD-Technologie (JEOL und Bruker)
- Laterale Auflösung 3 nm bei 30 kV, 40 nm bei 10 kV 10 nA und 100 nm bei 10 kV 100 nA
- Spezielle Ausstattung für leichte Elementanalytik


JEOL JXA-8530F JEOL JXA-8530F




Transmissionselektronenmikroskopie (Arbeitsbereichsleiter apl. Prof. Dr. Thomas E. Weirich)

Hochauflösendes analytisches Transmissionselektronenmikroskop FEI Tecnai F20
mit abbildendem Energiefilter (Gatan GIF 2000), EDX (EDAX) und HAADF-Detektor.

FEI Tecnai F20FEI Tecnai F20




Rastersondenmikroskopie (Arbeitsbereichsleiterin Dr. Anke Aretz)

Rasterkraftmikroskop SIS, NanoStaion II
(Baujahr 2007) für Contact-, Non-Contact-, Magnetic Force und Lithographiemodus, sowie Messungen in Flüssigkeiten.

SIS, NanoStation II SIS, NanoStation II


Rasterkraftmikroskop PARK Autoprobe CP
(Baujahr 1995) mit Hysitron-Nanoindenter.

Park Autoprobe CP Park Autoprobe CP
TriboScope Hysitron Inc. TriboScope Hysitron Inc.




Focused Ion Beam Anwendungen (Projektleiter: apl. Prof. Dr. Thomas E. Weirich)

Focused Ion Beam Workstation FEI STRATA FIB 205,
drei Gasinjektionssysteme mit Lift-Out Manipulator.


FEI STRATA FIB 205 FEI STRATA FIB 205

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